![雷 射 微影](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
微影照像
- 雷 射 微影
- EUV光源 原理
- EUV 優點
- 何謂微影技術
- 光罩原理
- immersion lithography
- what is immersion lithography
- 193奈米浸潤式微影技術
- 193 nm immersion lithography
- Overlay 半導體
- EUV 曝光 原理
- immersion lithography ppt
- 台積電浸潤式曝光
- lithography半導體
- 濕式微影
- arf immersion lithography
- 台積電 浸潤式 曝光的 原理
- euv光源
- lithography意思
- arf immersion
- 浸潤式immersion微影技術
- duv euv
- 微影 技術應用
- euv波長
- 浸潤式微影技術
準分子雷射(excimerlaser)有氟化氪(KrF)和氟化氬(ArF)兩種,是驅動.微影製程進入深次微米(deepsubmicron),使解析度小於0.5微米的曝光光源。一.準分子雷射的 ...
** 本站引用參考文章部分資訊,基於少量部分引用原則,為了避免造成過多外部連結,保留參考來源資訊而不直接連結,也請見諒 **